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  镀膜机组成结构
作者： baidoudoubai  01-01 08:00 　 回复  
 磁控溅射镀膜设备由那些结构组成
  回复：镀膜机组成结构
作者： gulin_79  01-01 08:00 　 回复  
 主要是真空室及附属的法兰、机械手、观察窗等，真空获得（含机械泵分子泵闸阀）、真空测量，电控单元，机台架，及靶构成
  回复: 镀膜机组成结构
作者： 游客  10-24 18:35 　 回复  
 主要是真空室,靶材,扩散泵,维持泵,机械泵,罗茨泵,控制电源箱
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